在上一篇《半導體到底是什么呢?》中,我們介紹了應用最廣泛的半導體單晶硅的生產流程,在本文中我們將詳細介紹單晶硅是經過哪些流程才能成為芯片。
將單晶硅切片打磨形成晶圓,在晶圓上,采用一定的工藝將電路中所需要的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線刻畫在晶圓上,就形成了集成電路(integrated circuit,IC),通過對集成電路封裝測試便形成了芯片。
圖1:芯片的生產流程
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一、IC設計
半導體行業發展到現階段,已經形成了IC設計和IC制造分離的模式,主要原因是建設IC制造廠需要花費高達數億甚至數十億美元的巨額投資,并且生產工藝日趨復雜,所以當前半導體行業便形成了IC設計和IC制造的專業化分工模式。
從事IC設計的公司一般被稱為“Fabless”(Fabrication(制造)和less(無、沒有)的組合),其只負責設計與銷售,不負責制造,手機廠商中的華為、蘋果、小米以及高通和聯發科,都屬于Fabless。
圖2:大家熟知的Fabless
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圖3:EDA中顯示的集成電路圖
IC制造的過程就如同蓋房子一樣,Fabless負責房子的設計部分。
IC設計可分成幾個步驟,依序為:規格制定→邏輯設計→電路布局→布局后模擬→光罩制作。
規格制定
需求端與IC設計工程師對接,并開出需要的IC的規格,以確定IC的功能、IC封裝及管腳定義等,而后IC設計工程師開始設計。
邏輯設計
通過EDA軟件的幫助,工程師完成邏輯設計圖。
電路布局
將邏輯設計圖轉化為電路圖。
布局后模擬
經由軟件測試,試驗電路是否符合要求。
光罩制作
電路圖完成測試后,將電路制作成一片片光罩,完成后的光罩送往IC制造公司。
二、IC制造
IC的線路布局由Fabless設計好之后,就交由Foundry來對晶圓進行加工,將光罩上的電路加工到晶圓上。
我們常說的臺積電就是最為典型的Foundry,他們專注芯片制造,發展相關的工藝和制程,Foundry廠商其實就是Fabless廠商的代工方,俗稱“代工廠”。
圖4:未經Foundry加工的晶圓
圖5:經Foundry加工后的晶圓
圖6:IC的3D剖面圖
加工晶圓時,可以簡單分成幾個步驟,依序為:金屬濺鍍→涂布光阻→蝕刻技術→光阻去除。雖然在實際制造時,制造步驟會復雜的多,使用的材料也有所不同,但是大體上皆采用類似的原理。
金屬濺鍍
將金屬材料均勻灑在晶圓片上,形成薄膜。
涂布光阻
先將光阻材料放在晶圓片上,透過光罩將光束打在不要的部分上,破壞光阻材料結構,再以化學藥劑將被破壞的材料洗去。
蝕刻技術
將沒有受光阻保護的硅晶圓,以離子束蝕刻。
光阻去除
使用去光阻液將剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。
最后便會在一整片晶圓上完成很多IC,接下來只要將完成的方形IC剪下,便可送到封裝廠做封裝測試。
三、封裝測試
經過漫長的流程,從設計到制造,終于獲得一顆IC。然而現在的IC相當小且薄,如果不施加保護,會被輕易的刮傷損壞。此外,因為芯片的尺寸微小,如果不用一個較大尺寸的外殼,將不易于安置在電路板上。因此需要對IC進行封裝。
目前常見的封裝方式有兩種,一種是電動玩具內常見的,黑色長得像蜈蚣的DIP封裝,另一種為購買盒裝CPU時常見的 BGA封裝。
圖7:DIP封裝
圖8:BGA封裝
完成封裝后,便要進入測試的階段,在這個階段便要確認封裝完成的芯片是否能正常的工作,正確無誤之后便可出貨給組裝廠,做成電子產品。至此,芯片便完成了整個生產的任務。
媒體來源:市場資訊