“世界功率器件市場規模220億美元,國內市場占一半以上。但90%依賴進口,特別是高端芯片?!崩钏济舾锌?,九十年代那會兒,國產與國際先進水平的半導體器件仍然有很大差距。
上世紀80年代,中國半導體器件從第一代電子管向第二代晶體管的過渡,而世界已經進入現代電力電子器件時代,IGBT即將成為主流。
直到九十年代,中國的第一支高壓IGBT才誕生,這款芯片由功率半導體器件專家黃勤設計,李思敏負責工藝制作。
半導體行業按照產品分為兩大類,一類相當于人類的大腦神經,這就是目前鬧供應荒的緊缺的集成電路芯片(Integrated Circuit Chip);另一類相當于人的四肢,被稱為功率半導體器件(Power Semiconductor Device),中高端產品同樣高度依賴進口。
IGBT,絕緣柵極雙極型晶體管,小到電焊機、電磁爐,中到新能源汽車充電樁,大到軌道交通、電網、航空航天、風電風機運轉的“CPU”都是它,應用場景廣泛。
在半導體芯片這樣的重要技術元件上,越是依賴進口,就越是容易被進口國家“卡脖子”。
2020年,中美關系陷入緊張,美方宣布對部分中國企業進行制裁,嚴密監控對中國的芯片出口,一場沒有硝煙的戰爭就此拉開。而隨著疫情到來,全球陷入芯片短缺危機,加快了中國功率芯片研究的步伐。
半導體芯片技術是幾乎所有現代技術的基礎,高鐵、軌道交通、風電、電網、船舶、軍工、大型設備等國家支柱行業都離不開功率芯片。
然而設計制造一款新型芯片,動輒耗費千萬、耗時數年。
主要難在架構設計、制造工藝、研發周期上:設計一款芯片,科研人員要芯片“規范”,定義諸如指令集、功能、輸入輸出管腳、性能與功耗等關鍵信息,將電路劃分成多個小模塊,清晰地描述出對每個模塊的要求。然后由“前端”設計人員根據每個模塊功能設計出“電路”,運用計算機語言建立模型并驗證其功能準確無誤?!昂蠖恕痹O計人員則要根據電路設計出“版圖”,將數以億計的電路按其連接關系,有規律地翻印到一個硅片上。至此,芯片設計才算完成。如此復雜的設計,不能有任何缺陷,否則無法修補,必須從頭再來。
制造工藝復雜。一條芯片制造生產線大約涉及50多個行業,一般要經過2000至5000道工藝流程。
投入大、研制周期長。一款復雜芯片,從研發到量產,要投入大量人力、物力和財力,時間至少要3至5年,甚至更長。IC是如此,功率芯片也是如此。
研發一款新芯片需要研發團隊、資金、產業鏈相互配合,其中研發者對新技術路線的判斷與堅持尤為重要。
“在半導體的路上,沒有捷徑,我們只能去走最艱苦的道路。現在做最難的事才能讓以后變得容易?!崩钏济舻呐畠豪钸B宇告訴小飯桌。
- 功率半導體的應用范圍 -
李思敏是中國第一個高壓絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)的參與制造者,創立了半導體公司優捷敏,先后研發了GAT管、GATH管,獲得10多項中國專利。如今李思敏已82歲,依舊在技術研發上孜孜不倦:他新開發出的取代MOS管的逆導型聯柵晶體管(RCGAT),已進入流水線制造階段。
- 優捷敏創始人&CTO李思敏 -
李思敏的芯片夢植根于青少年時期。1956年,16歲的李思敏考上了北京大學物理系,學習半導體物理;大學時,李思敏曾和同學們目睹前蘇聯的人造衛星飛過頭頂,在那個技術匱乏、工業基礎薄弱的年代,這群青年人在心中默默地埋下了科技報國的種子。為著這顆種子,李思敏付出了半生的時間。
大學畢業后,李思敏被分配到了北京市無線電器件研究所。1983年,參加了與清華大學微電子所聯合攻關的8085微處理器的工作。他的經歷覆蓋了半導體行業多個產品領域。
上世紀80年代初,全世界的第三代半導體功率器件研究正如火朝天。以金屬—氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)、絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)為主的第三代功率器件興起,彼時的中國,正處于百廢待興的改革開放浪潮之中,半導體器件還在從第一代電子管向第二代晶體管過渡。
而當時,IGBT的核心技術和產業為大多數歐美、日本半導體廠商所掌控,全世界的IGBT芯片的進口都仰賴于此,中國也不例外。
那時期,中國開始實施“八五”國家重點科技項目(攻關)計劃,在電力電子器件及應用方面力爭突破,改變在電子技術發展上受制于人的狀況。
半導體器件專家黃勤通過朋友介紹,認識了時任北京半導體器件研究所高技術實驗室副主任的李思敏。1987年,由黃勤設計,李思敏負責工藝制作,二人合作研發出了中國第一支高壓IGBT,打破了國際上的壟斷。
1988年,北京市電子振興領導小組辦公室舉行了一場頭腦風暴,集齊半導體業界最優秀的人才,每半個月召開一次中國電力電子研討會。在這場匯集了全中國最優秀、最有天賦的半導體研究人才盛會上,李思敏接受了來自國內外的先進的半導體研究思路。這場學術之旅,為他后續自主創新GAT、GATH管埋下了種子。
1994年,李思敏被派到美國學習最新的半導體器件溝槽型IGBT全套技術,為回國后的研究工作打下基礎?;貒?,正當李思敏準備將學成技術大展身手之時,卻遇上了90年代的銀行改制。原來合作的銀行不再投資李思敏所在公司的電子電力研究項目,李思敏的研究之路中斷。
1996年,為了提升國產IGBT的性能,使之能夠以較低成本和高適配性快速推向市場,李思敏開始對現有的IGBT結構進行優化,進而創新了另一種架構——聯柵功率管,發明了一種特殊的細微元胞(~10微米)的GAT(聯柵晶體管)。相較于IGBT,GAT管的優勢在于發熱低、能效高,安全工作區大。
在1996年到2012年之間,李思敏和北京山貝公司、深圳盛元半導體公司合作,賣出上億只GAT管。
2012年,李思敏成立優捷敏公司,一心埋頭鉆研做技術,希望能夠突破限制,讓中國企業能夠放心使用國產半導體芯片。在李思敏的女兒李連宇為父親的芯片夢奔走尋求融資時,投資人的一句話,讓他們醍醐灌頂,從而開啟了轉型之路:“產品這么好的特性,高壓大電流也是咱們國家急需的,節能燈不需要這么好的特性,你這個技術為什么不做高壓大電流?”李連宇說。
李思敏自此開始研究高壓大電流產品。在前期GAT管技術已經非常成熟的前提下,很快,李思敏就在2018年推出了GATH(聯柵晶閘管Gate Associated THyristor)。GATH突破了IGBT的最高電流密度,具有耐高溫、高功率、魯棒性更強、低成本等優勢,適用于柔性直流輸電、軌道交通、風電等高壓高電流場景,它在高壓大電流的條件下耐用性更長,這也正是中國芯片行業亟待解決的問題。
- 優捷敏1700V 100A 單顆芯片 -
“公開資料表明,IGBT的最高電流密度是800A/cm2,實驗數據表明1200V相同規格的 GATH的電流密度已經達到25000A/C㎡ 。這說明GATH的抗電流沖擊能力較強,就好比防洪堤,IGBT是一層樓,GATH抗電流浪涌的防洪堤高十層樓。所以,GATH的魯棒性遠遠強于IGBT。”李思敏描述。
- 優捷敏1700V 400A GATH 六寸片 -
既然成本更低、耐用性更強,為何技術在國內遲遲得不到應用推廣?
“我們做的是基礎創新。一個產業,還需要協同創新和系統創新。我們只有做芯片的能力?!崩钏济粽f,芯片研發出來之后,還要封裝模塊、開發驅動線路,制作成整機,檢測鑒定,然后進行市場推廣。
“這是一個很大很復雜的生態系統。我們是無能為力的?!崩钏济粽f。
柔性直流輸電、高鐵、風電等大項目的系統集成,非個人一己之力能為。“從電壓型再換回電流型,線路和系統的整機測試,需要大公司或者國家支持才能做。”曾經赴美學習的李思敏感觸很深,美國的產業鏈協同創新和系統創新已經配合很成熟,而國內缺乏這種協同創新。
目前GATH產品最高耐壓已經做到1700V 400A,李思敏也因此先后獲得10多項中國發明專利,正在申請國際發明專利。而李思敏認為,如果有資金支持,很容易做出來3300V 、6500V 、甚至8000V 200A(8吋線) GATH產品。李思敏認為,GATH將在柔性直流輸電和特高壓領域發揮重要作用。
西電東送,實現風電、光伏、整個可再生能源在全國范圍內的配置,預計“十四五”期間直流輸電工程總投資規模接近4000億元,其中功率半導體(IGBT、晶閘管)投資450億元。柔性直流輸電在新型電力系統建設中是結構性機會。
柔性直流輸電的發展對功率器件提出新的要求:更高電壓、更大電流、更低損耗及更高結溫。目前,IGBT很難滿足柔直的需要。主要是IGBT受結構天花板閂鎖的局限,越是高壓大電流、高溫,IGBT約容易因閂鎖引起過流失效。因此,IGBT很難做更大功率規格芯片,IGBT模塊功率容量難以再提高。由于閂鎖,高壓大電流應用IGBT的抗雪崩能力也較脆弱。目前柔直應用4500V/3000A IGBT模塊,串并聯幾百個IGBT模塊,損耗大、控制復雜、成本昂貴。為了控制IGBT因閂鎖導致的過流失效,采用的故障支路,系統控制復雜,維修成本較高,使得目前柔性直流輸電的成本是直流輸電的1.5倍。因此,IGBT閂鎖的天花板,制約了柔性直流輸電的發展。
GATH是一種先進的IGCT,具有晶閘管的高壓大電流、高可靠、低成本的優點,又加上聯柵結構,把重復單元縮小,突破了IGCT因元胞大,di/dt dv/dt局限,驅動功耗為IGCT 1/10,驅動比IGCT簡單得多。
以張北柔直工程為例,如果采用8000V/ 6000A 壓接式GATH模塊代替4500V /3000A壓接式IGBT,可以使柔直電網的電壓輸出增加一倍,從±500KV增加到±1000KV,柔直電網的額定輸出能力450萬千瓦能夠增大3倍,達到1800萬千瓦。并且故障率將大幅度下降,預計降低1-2個數量級。GATH滿足柔性直流輸電對功率器件高壓大功率、抗雪崩能力強、更高結溫和更低損耗的要求,將促進柔性直流輸電的更快發展。
優捷敏整個團隊只有3位成員,創始人李思敏如今82歲,對技術初心不改。CEO是創始人的女兒李連宇,經歷過資金鏈斷裂、與合作企業分裂,為技術研發父女二人兩度賣房。在40平方米的小屋里,李思敏打造出了自主研發的國產高壓大電流半導體器件。
李思敏的女兒李連宇曾是一位大學老師,生活在校園環境的舒適圈里。她曾見到合作企業代表為了買下父親的技術,反復上門商討股權合作,最終以父親堅持自我而告終的失敗結局;也曾經歷過父親為了支撐研究,兩度賣房的困難時刻,這些經歷讓她更加堅定,一定要把父親的半導體技術傳承下去。
2012年,李思敏成立優捷敏半導體技術公司,三年后技術成熟,準備推上市場。當時李連宇的弟弟辭了職,一心為父親跑市場,李連宇和先生商量,把他們自己的房子賣了,給父親做啟動資金。2015年開始,李連宇也從大學校園辭職,開始全職幫父親跑市場。
- 優捷敏半導體CEO 李連宇 -
“做半導體是一件十分燒錢的事情,從人員組建、產品設計、到工廠加工、再到交付給合作企業,這個鏈條上環節太多,一旦出了問題,企業就會處于生死邊緣。很快,賣房的錢就燒完了?!崩钸B宇回憶。
當時優捷敏合作了一家芯片加工廠,雖然優捷敏已經有了一部分訂單,但由于工廠產能限制,對產品的產量有要求,如果達不到,就會考慮將這條生產線砍掉,再加上優捷敏資金短缺,有部分貨款無法支付,李思敏權衡再三,不想讓自己20多年的心血白費,賣掉了自己當時的住房。
賣掉住房后,李思敏搬進了北京北三環40多平方米租來的一室小屋,將這里作為自己的“研究基地”,繼續和半導體技術“纏斗”。為了潛心做研究,更是拒絕了女兒搬來同住照顧的請求。
李連宇回憶起自己還是大學老師的時候,父親因為想專心做自己的技術,而非快速商業化賺取利潤,拒絕了深圳一家企業的合作。在沒有任何支持和幫助的情況下,父親依舊堅持每天思考、閱讀前沿期刊、自己掏錢購買材料、做實驗。有一次她去看望父親,聊到了夜里11:30,起身準備離開的時候,回過頭就看見70多歲的父親,在昏暗的燈光下,佝僂著背,做實驗,像一個孤軍奮戰的戰士。
“在科學上一旦有一個新想法,他馬上就要去動手去做實驗?!崩钸B宇說,“我回頭看他那一瞬間的時候,我就想我一定要幫我父親做這個東西,這是父親的一輩子科研成果,這是我們國家核心的東西,我一定要保持下來?!?/span>
李思敏希望自己的技術能夠應用于更大的場景,如柔性直流輸電 、軌道交通、光伏、儲能、風電、新能源汽車等。
李連宇認為,工藝、材料、設計決定了一個芯片的品質。
“我父親花幾十年的時間不是在做一個單個產品,而是在研發一整個工藝平臺?!?/span>
芯片的制造工藝包括濕洗、光刻、離子注入、蝕刻、等離子清洗、熱處理、化學氣相淀積、物理氣相淀積 、電鍍處理、化學/機械表面處理、晶圓測試、晶圓打磨、封裝等多個環節。
從1996年研發GAT開始,到今天推出GATH管,形成一整套完善的工藝流程,前后20多年。
在工藝平臺成熟后,芯片的底層結構就不需要大調整,剩下的就是一些微調。一方面是外延片。
另一方面是設計,好的設計可以用最大化發揮芯片的效能,現在,李思敏教授一般用一兩周就可以做好設計。
如今優捷敏不再處于0-1的研發階段了,現在可以基于工藝平臺快速推新產品上市。
GATH管雖然在實驗數據上表現優異,遠強于IGBT,但由于缺乏整機測試、廣泛的場景測試、極限測試等,暫時沒有人給出準確的結論和明朗的前景。
但幸運的是,2021年底,優捷敏獲得了國家電網的支持,入駐了“雙創孵化平臺”。有了國家的支持,李思敏終于能夠夠實現對GATH周邊線路調整、測試芯片的各種特性,也是在國家電網的支持下,優捷敏開始制作光伏和風電領域制作樣機。同時,李連宇也繼續幫助父親尋找天使輪融資,希望擴大團隊,擴大生產能力。
“我父親常說,這件事情我死了也會有人做。我曾經很疑惑,你如果死了,怎么還會有人做?但他相信聯柵架構是功率器件底層架構的創新,這個方向一定會有人繼續做好它?!崩钸B宇說。
李思敏堅信聯柵架構的功率管GATH和GAT,優于絕緣柵架構的功率管IGBT,MOS和第三代半導體SIC MOS。GATH的魯棒性十倍于IGBT,GAT的高能效和高功率密度與SIC MOS相當而成本僅為其20%。
李思敏新開發出了取代MOS管的逆導型聯柵晶體管(RCGAT),已進入流水線制造階段,2022年底將面世。RCGAT是新能源電動車充電樁的核心零部件,可解決快充問題。GAT具有高頻(100KHz)、高功率密度、高能效、低成本的優勢,可以提高整機功率密度,優化散熱系統,縮小充電模塊體積,將成為解決電動汽車里程焦慮的功率芯片的新技術路徑。
“國內尚未有50kw以上的快充功率器件?!崩钏济粽f,珠三角一些制造商已經找上門來等流片了。
也許優捷敏不會是第一個完成GATH管整機測試的公司,李思敏也不會是那個“第一個吃螃蟹”的人,但在國產半導體功率器件的這條路上,永遠都會有他們的影子。
* 張藝煒對本文亦有貢獻
參考資料: