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EDS能量色散溥儀，按能量展譜，主要器件為Li-Si半導體探測器.主要利用X光量子的能量不同來進行元素分析。
EDX：Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer 能量色散X射線熒光光譜儀。X射線熒光光譜儀是基于偏振能量色散X熒光光譜儀（ED－XRF）的分析方法。X射線管或放射性同位素源中發出的X射線激發固體、液體、粉末樣品中的原子。原子發射的各元素X射線偏振信號通過光電電離之后，通過固定式半導體檢測器或封氣正比計數器檢測出來。 每種元素的發射強度與樣品中的元素含量成正比，通過預先設置好的校正曲線計算出來，可直接顯示含量。