刻蝕設備全球主要供應商包括美國Lam、日本東京電子、美國AMAT、中國大陸北方華創和中微公司,其中lam位列全球的第一,市占率46%,東京電子和AMAT分別位列全球第二、第三,市占率分別為30%和18%,中微公司市占率約為1%。
就整個半導體市場而言,隨著先進工藝制程的進步和3DNAND的發展,刻蝕設備市場規模已超過光刻設備,成為全球半導體設備最大細分市場。
根據刻蝕對象的不同,刻蝕可分為導體刻蝕和電介質刻蝕。導體刻蝕適宜于導電材料的塑形,而電介質刻蝕大量用于絕緣材料中。
根據Gartner的數據,2018年全球刻蝕設備供應中55%為導體刻蝕,其余45%為電介質刻蝕。