06-07 22:00
在我的上一篇文章中,已經為大家定義了芯片的本質:
芯片很簡單,簡單到就是一個集成電路板。
芯片也很復雜,復雜之處在于如何能夠把70年前還像房子一樣大的電路板,縮小到指甲蓋大小。
試想一下,如果你要在一塊板子上,鋪設線路。首先就得把凹槽給刻出來。這樣才能保證鋪上去的線路不會七零八落。
如果你要做極其微小的刻痕,金屬器具肯定是不合適的。首先如此細的金屬,很難保證硬度。其次金屬的鑿刻用的是壓力,一定會造成形變。
那么,什么東西才能夠不施加壓力,又能夠隨心所欲變小,還能刻出凹槽呢?
人們找到了——“光”。
一、刻板
光刻的對象,還是硅。硅是地殼中儲量第二的非金屬元素,僅次于氧。硅也是半導體的原材料。而硅的單質晶體硅,化學性質非常穩定,五毒無害,從石英礦中開采。
可惜高純度的多晶硅,提純工藝非常復雜,我國基本要靠進口。
光刻的直接對象是光刻膠,先在光刻膠上刻上圖案,再將光刻膠貼在硅片上,最終腐蝕那些被刻出的暴露部位,形成“刻痕”。
二、刻刀
刻刀當然就是光了,光刻機用的是波長在13~2000納米的紫外光。波長越小,刻出來的成品越精密。
而浸潤式光刻技術,可以突破波長的限制,進一步刻出更加細致的紋路。浸潤式光刻技術也是讓ASML(荷蘭)這家光刻機制造廠在全球一家獨大的關鍵技術。
而光的發射部分即光源,暫且稱之為“燈頭”好了,是PDMS 材料涂覆在石英襯底上做成的。它的彈性較小,因此可以做到很高的分辨率而不因為壓力而讓圖像變形失真。
三、工作臺和作坊(國際領先的光刻公司)
光刻技術的工作臺就是光刻機了,其面目大概如下圖:
頂級的光刻機,一臺要上億美元。
全球最大的光刻機生產公司是阿斯麥ASML,總部不在美國而在荷蘭。市場占比高達80%。
而尼康和佳能就很弱很弱了,這兩家是大家無比熟悉的相機制造廠。尼康尚且占有光刻機市場的一席之地。而佳能從09年開始就已經不做高精度芯片的光刻機了,只做一些比較“大”的集成電路,如LCD面板(LCD就是液晶顯示器,LCD面板在業內被稱為“板卡”,有機會再給大家介紹板卡行業)佳能主要就是做板卡廠的光刻機供應商。更小的幾家在美國,如ABM、AppliedMaterials、Lam Research、及RudolphTechnologies等。
當然,芯片的上游技術不只是光刻機,還包括刻蝕機,離子注入機,但光刻是最關鍵技術,也是最高難度的技術。
看到這里,大家應該會好奇,光刻技術看來是掌握在荷蘭人的手中呀。可惜,ASML的三個大股東分別是因特爾15%(美國),臺積電5%(臺灣),三星3%(韓國),投資者才有用優先供貨權。同時美國的企業如Intel和德州儀器是ASML的最大客戶。而光刻機還需要上游供應的光源。早前,美國企業Cymer是光源的主要供應商(后來被ASML收購)。
同時由于美國、日本、英國、俄羅斯等國(中間也包括荷蘭)簽署的瓦森納協定,ASML出口的光刻機,只有低端產品能夠賣到中國,也在很大程度上限制了國內芯片技術的發展速度。這讓我想起《三體》里三體人限制地球人科技發展的“質子”
當然,中國人是世界上最聰明和努力的民族之一,所有的科技難題,都是有辦法解的。比如光刻機中的浸潤型光刻機就是越南籍的華裔科學家構思出來的。18年中國也有企業宣傳可以提純出99.999999999%的多晶硅了。但是,造成芯片難題的還有一個非常關鍵的因素,也是限制中國足球的關鍵因素,叫做產業結構是一時難以轉變的。靜待下期分解。